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伴隨著SF6氣體絕緣的高壓充氣柜數量的逐漸增加，及其提升其運作穩定性要點作業中在供電系統中的廣泛開展，缺陷和安全隱患基礎在生產加工、原廠試驗、作業交接及運作維護保養等各階段中就被發覺和鏟除，從而巨大水平防止了安全事故的重復產生，但是SF6氣體絕緣的高壓充氣柜漏氣狀況仍是在所難免和完全避免的疑難問題。
SF6氣體絕緣的高壓充氣柜產生走漏的關鍵原因包括：生產工藝流程欠佳，機殼上帶沙孔，橡膠密封件質量較差；當場安裝質量不高，突面處理不及時；機器設備運作中產生轟動，如電源開關分與合、變電器運作中的轟動，橡膠密封件脆化等原因。
怎樣查驗高壓充氣柜SF6氣體走漏呢
肥皂泡法
完成方法
在疑是點涂抹肥皂水，觀查是不是形成氣泡，由此分辯是不是存有SF6氣體走漏。
長處和缺陷
查驗方法簡易，不用儀器設備，但查驗精密度差，查驗具備片面性，查驗期長不宜普測。
包扎法
完成方法
在疑是點捆扎包裝袋，靜放要求的時間后選用定量分析檢查儀查驗捆扎位置的SF6氣體濃度值來分辯是不是漏氣。
長處和缺陷
可以 完成定量分析查驗，但十分容易遭受作業溫度、標準氣壓、捆扎包裝袋容積、測驗儀器等的危害。
真空泵法
完成方法
針對并未打氣的SF6氣體絕緣的高壓充氣柜，將機器設備各一部分真空包裝至約133Pa，并靜放4h及左右，依據查驗真空值降低是否區分是不是漏氣。
長處和缺陷
適用原廠查驗，不可以完成感應起電檢測，運用的局限很大。
鹵化物測定法
完成方法
運用金屬材料鉑的“鹵素功效”區分檢測點是不是漏氣。
長處和缺陷
可以 定量分析測算出走漏點的走漏速率、氣體濃度值等實際主要參數，準確測量精密度不高。
超音波法
完成方法
高壓充氣柜在溫度、氣體壓強同樣的標準下，求待測氣體濃度值便可轉化可求涂料廢氣均值聲速的難題，選用相位差法測聲速，即在發送超音波的另外剛開始單脈沖記數，直至查驗到雷達回波數據信號的起伏值超出一定閥值后終止記數，再與記數周期時間乘積便獲得超聲波散播時間，固定不動的散播間距除于該時間便是聲速。
